NHEV - 2012 高真空蒸着装置



弊社オリジナル高真空蒸着装置は、真空をブレイクすることなく
12種類の材料を連続して、蒸着することができます。



高真空対応 7×E-6 Pa 以下

試料自動搬送(ロード/アンロード)
  ロードロック機構

12種類の蒸着源を膜厚モニターにより
  プログラムコントロール
  (単層・多層蒸着膜を任意に形成)

試料加熱機構
  (常温〜400℃/ハロゲンランプヒータ)


10KW電子銃のパワーコントロール
  及び、スイープコントロール


自動真空立上げ・立下げ

各種インターロック
  及び、安全対策

完全オイルフリー排気

ベーキングヒータ内臓
  (ハロゲンランプヒータ/高速温度制御)

成膜速度 : 10Å/sec