NHEV - 2012 高真空蒸着装置
弊社オリジナル高真空蒸着装置は、真空をブレイクすることなく １２種類の材料を連続して、蒸着することができます。
		◆高真空対応　７×E-6　Pa　以下 ◆試料自動搬送（ロード/アンロード） 　　ロードロック機構 ◆12種類の蒸着源を膜厚モニターにより 　　プログラムコントロール 　　（単層・多層蒸着膜を任意に形成） ◆試料加熱機構 　　（常温〜400℃/ハロゲンランプヒータ） ◆10KW電子銃のパワーコントロール 　　及び、スイープコントロール ◆自動真空立上げ・立下げ ◆各種インターロック 　　及び、安全対策 ◆完全オイルフリー排気 ◆ベーキングヒータ内臓 　　（ハロゲンランプヒータ/高速温度制御） ◆成膜速度 : 10Å/sec