Agilis−2008　　ＥＢ蒸着装置
米国プラズマサイエンス社の設計によるＥＢ蒸着装置です。 部品はセミスタンダードに準じております。
ＥＢ蒸着装置本体		◆試料ロードロック機構 ◆試料自動搬送（ロード／アンロード） ◆試料加熱・冷却機構 ◆試料位置任意可変 　　（試料−蒸着源間100ｍｍ移動可能） ◆蒸着源は蒸着室と分離 　　（蒸着室を大気開放せず原料交換及び充填可能）
自動成膜コントローラ
		◆蒸着源自動位置移動 ◆蒸着源（1,3,6,10ポケット） 　　（１５CC／ポケット） ◆膜厚モニターによりプログラムコントロール ◆ウォーターポンプ搭載 　　（クライオ方式）