Agilis−2008  EB蒸着装置



米国プラズマサイエンス社の設計によるEB蒸着装置です。
部品はセミスタンダードに準じております。



EB蒸着装置本体



試料ロードロック機構

試料自動搬送(ロード/アンロード)

試料加熱・冷却機構

試料位置任意可変
  (試料−蒸着源間100mm移動可能)


蒸着源は蒸着室と分離
  (蒸着室を大気開放せず原料交換及び充填可能)



自動成膜コントローラ

蒸着源自動位置移動

蒸着源(1,3,6,10ポケット)
  (15CC/ポケット)

膜厚モニターによりプログラムコントロール

ウォーターポンプ搭載
  (クライオ方式)